设 计 思 路

硅片每一刀料是一个料号含有物料的型号身份信息，一刀料约3200片， 4个载体治具进行承载。特定型号硅片需在对应清洗机设备中进行清洗。设备动作流程：上料机械手将清洗机空载体治具抓取放置在空治具回流线体。满载硅片治具通过输送线体（带水输送线）输送到清洗机台挡停，识别。机械手到输送位抓取，再次判定确认载体治具的硅片满足清洗型号设定条件。上料机械手优先放置在清洗机空置的上料位（为双上料工位）。若清洗机上料工位有料，放置缓存料箱。整个流程确保清洗机不停机待料。

硅片载体治具和上下料机械手两部分装置作用和贯穿于输送、缓存、清洗分片、空治具回流输送等系统，为重要设计要素。

硅片治具载体设计，从硅片分装、信息记录、输送、机械手抓取、清洗机分片、空治具回流作为载体。设计中首先确保清洗分片的定位，倾角功能。治具承载能力满足一刀料约800片的容量和负载。设计安装RFID芯片记录刀号信息，设计符合输送截停阻挡功能接口。设计治具载体有上下料机械手夹爪抓取位置。

机械手设计，从硅片满载治具的输送、缓存、清洗分片位的上料、空治具回流等实现承上启下的转序功能。机械手设计横移行程覆盖各功能模块区域，垂直提升、降满足各高度要求。机械手设计满载治具承载力20Kg，结构稳定、可靠。垂直提升选用带抱闸伺服电机。横移行程覆盖空治具回流线，满载输送线，缓存线、清洗分片上料位区域，机械手运行平稳，无爬坡，抖动现象。横移采用型材钢加工安装导轨，伺服电机带减速机驱动，皮带轮传动。抓取中保证治具不变形，不能对产品造成2次损伤。在抓取过程判定确认物料信息是否满足清洗的目标要求。满载治具的输送线体, 治具缓存装置,空治具回流输送线体设计高度统一，方便编程和调试。

机 构 设 计

上下料机械手作用和贯穿于输送、缓存、清洗分片、空治具回流输送等系统，完成各个功能模块的硅片治具的上下料转序。俯视图如图一所示：

硅片单片很薄、坚硬、脆，考虑工况水质浸泡的环境治具要变形小。治具材料采用硬PVC材料阻燃，硬度高，韧性好，吸湿小。按8寸硅片尺寸设计内框限位，单边放4mm间隙。承载量为800片硅片设计治具高度和承载力，安装板螺纹底孔内嵌螺纹钢套。底板设计清洗分片机的定位孔，入口孔带倒角方便引导。底板四角设计内圆弧角，用于前后治具跟进时的隔断。左右侧板设计机械手抓取前的限位导向，当机械手下降时自动导正治具后到位抓取。斜度板设计角度符合清洗分片的角度。抓板设计同时满足人工和机械手搬运。后板设计要挖空，方便人工放置硅片操作。后板并设计有RFID芯片安装位。

图二硅片载体治具示意图

1.底板 2.侧板3.斜度板4.抓板5.后板

机械手系统由气动控制组件、接线盒、三色灯报警器、LED显示器、机架框架、机械手桁架组件、触摸屏控制组件、保护罩壳、控制电箱、治具缓存水箱组成。如图三所示。气动控制组件和接线盒方便于能源接入。三色灯报警器时时动态显示设备状态，便于维护。LED显示器主要显示设备的料号信息。机架框架设计满足机械手桁架组件和治具缓存水箱的安装和承载。框架支承高度兼顾满载治具输送、治具缓存水箱、清洗分片位、空治具回流输送功能需求。机械手桁架组件设计满足硅片满载治具的输送、缓存、清洗分片位的上料、空治具回的流横移和上下料的承载、行程。触摸屏控制组件设计有自动和手动模式，方便调试、维护、管理。保护罩壳将机械运动机构做安全防护，防止意外。治具缓存水箱设计防止一刀料全部到齐，造成输送线体堵车作为缓存。缓存位物料少于2件时启动叫料考虑中间环节备料时间。

图三机械手系统示意图

1.气动控制组件2.接线盒3.三色灯报警器4.LED显示器5.机架框架6.机械手桁架组件7.触摸屏控制组件8.保护罩壳9.控制电箱10治具缓存水箱

（1）桁架机械手组件设计

桁架机械手由横移移栽模组、垂直移栽模组、机械手组件、拖链组件、接线盒组成。如图四所示。横移移栽模组行程满足现场布局，移栽横移位涉及满载治具输送、治具缓存水箱、清洗分片位、空治具回流输送的精确位置，采用伺服电机驱动。移载行程范围内设计零点、左右两边的极限位、中间设置加减速感应位。横梁采用型材钢结构，导轨安装为T型安装方式，安装面贴板焊接加工保持平行度和垂直度。移栽极限位设计机械硬限位。牵引方式采用皮带。

图四桁架机械手示意图

1.横移移栽模组2.垂直移栽模组3.机械手组件4.拖链组件5.接线盒

垂直移栽模组高度行程涉及满载治具输送、治具缓存水箱、清洗分片上料位、空治具回流输送系统。设计时除清洗分片上料位高度外，其余高度设计一致。高度的行程以最低点容许富余量50mm。由于高度不同垂直提升采用抱闸伺服电机驱动。提升机构设计为导轨滑块和滚珠丝杆方式。移载行程范围内设计零点、上下两边的极限位、中间设置加减速感应位。

（2）治具缓存水箱设计

治具缓存水箱放置在机械手横移框架内并固定。如图五所示。缓存水箱的线体中心位置与机械手移载中心位置重合。机械手将输送线体的满载治具缓存在水箱中。治具缓存水箱由水箱本体、水下输送线体、物料检测、截停机构组成。

图五缓存水箱安装位示意图

水箱材料采用不锈钢钣金，拼接焊接而成密封不能漏水。水箱设计有进水口和排水口方便水定时更换且设有液位传感器。水箱外有与框架固定的安装板。水箱内安装有输送线体，用于输送治具。水箱上料位设计有料感应，感应有料启动输送。水箱内可以缓存4个治具位置加1个放料位满足5个治具位置尺寸空间。每处位置都有有料感应，防止满料放料或叠料。输送前端设计有截停机构，当治具到上料抓取位时截停机构启动阻断紧跟后面的治具，防止抓取提升带起。

图六缓存水箱结构示意图

1.水箱本体2.水下输送线体3.治具4.输送驱动5.物料检测6.截停机构治具

推 广 前 景 和 结 论

本文设计的一款硅片载体治具自动上料机械手，在整体车间13条清洗线实施后，硅片脱胶和清洗前的分装、搬运、分配、上料环节中实现了仅在硅片脱胶后往治具分装硅片需人工作业，大大减轻了劳动强度。不同型号的硅片清洗对应的不同清洗设备可以在产线中实现自动分线混洗。清洗分片缺料前实现提前预警，准备备料避免设备停机提高产能。在批量生产的光伏产业现状下，自动化生产是必然趋势。清洗机上下料机械手改善员工作业环境，提高产品合格率、提升生产率。在原有设备运行的基础上又在新上清洗机设备前加装了20套该上料机械手，所以在上诉环节具有行业推广意义。